乙硼烷混氬氣
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乙硼烷/氬氣混合氣 B2H6/Ar Mixture |
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Components （組分） |
Content(含量) |
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B2H6, 5N |
≥0.1% |
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Ar，6N |
Balance （平衡氣） |
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組分Components |
規格Specification |
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乙硼烷 Diborane（B2H6）5N |
99.999% |
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氮 Nitrogen (N2) |
≤2 ppmv |
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氧 Oxygen (O2) |
≤0.5 ppmv |
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二氧化碳 Carbon Dioxide (CO2) |
≤2 ppmv |
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甲烷 Methane (CH4) |
≤4 ppmv |
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氫Hydrogen (H2) |
≤100 ppmv |
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三氟化硼 Boron Trifluoride（BF3） |
≤50 ppmv |
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Teraborane(B4H10) |
≤180 ppmv |
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Pentaborane(B5H9） |
≤10 ppmv |
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Pentaborane（B5H11） |
≤10 ppmv |
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Hexaborane（B6H10） |
≤10 ppmv |
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Argon（Ar）6N |
99.9999% |
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氮Nitrogen (N2) |
≤0.5ppmv |
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水Water(H20) |
≤0.5ppmv |
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氧 Oxygen (O2) |
≤0.5 ppmv |
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甲烷Total Hydrocarbons as Methane (CH4) |
≤0.1 ppmv |
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一氧化碳 Carbon Monoxide （CO） |
≤0.1 ppmv |
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二氧化碳Carbon Dioxide (CO2) |
≤0.1 ppmv |
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包裝規格 |
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氣瓶大小 Cylinder Size |
47L |
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充裝量 Fill Weight (kgs) |
100Bar |
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閥門 Valve Connection |
CGA350/DISS632 |
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尺寸 Cylinder Dimensions(cm) |
23x140 |
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