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        乙硼烷5.0N

        乙硼烷Diborane 5.0N

        組分 Components

        規格 Specification

        乙硼烷 Diborane(B2H6)

        99.999%

        Nitrogen (N2) 

        2 ppmv

        Oxygen (O2) 

        0.5 ppmv

        二氧化碳 Carbon Dioxide (CO2)

        2 ppmv

        甲烷 Methane (CH4) 

        4 ppmv

        Hydrogen (H2) 

        100 ppmv

        Water (H2O)

        0.1 ppmv

        三氟化硼 Boron Trifluoride(BF3)

        50 ppmv

        Teraborane(B4H10)

        180 ppmv

        Pentaborane(B5H9)

        10 ppmv

        Pentaborane(B5H11)

        10 ppmv

        Hexaborane(B6H10)

        10 ppmv

         

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